日本SMC壓力調(diào)整器工藝氣體用減壓閥

日本SMC壓力調(diào)整器工藝氣體用減壓閥

減壓閥(壓力調(diào)整器) 高純度工藝氣體用 AP/SL/AP/AZ 
●適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等高純度的氣體供給
●閥體材質(zhì): SUS316L 二次熔煉或SUS316L
●接氣部電解拋光處理
●外部間隙密封構(gòu)造

日本SMC壓力調(diào)整器工藝氣體用減壓閥

1順時(shí)針調(diào)節(jié)手輪，調(diào)壓彈簧被壓縮，推動(dòng)膜片組件下移，通過閥桿，打開閥芯，則入口氣壓力經(jīng)閥芯節(jié)流降壓，壓力輸出

2出口壓力氣體經(jīng)反饋管進(jìn)入膜片下腔，在膜片產(chǎn)生一個(gè)向上的推力。當(dāng)此推力與調(diào)壓彈簧力平衡時(shí)，出口壓力便穩(wěn)定一定在值。

3SMC減壓閥特點(diǎn)

●體積小，重量輕。

● 比傳統(tǒng)的精密減壓閥IR200輸出流量大。

● 比傳統(tǒng)的精密減壓閥IR200溢流流量大。

● 壓力設(shè)定精確。

● 調(diào)節(jié)螺釘?shù)凝X間距由傳統(tǒng)的0.75mm改為0.5mm。

● 安裝方便，可用托架獨(dú)立安裝或與現(xiàn)在的模塊式過濾組合元件AF及AFM直接安裝。

● 標(biāo)準(zhǔn)型也帶面板安裝。

● 先導(dǎo)排氣口與主排氣口分開。

● 可在潔凈房使用(特注產(chǎn)品)。

4SMC減壓閥產(chǎn)品系列

1微型減壓閥 ARJ

特長(zhǎng)：

小型、輕量(16g)

低開啟壓力0.02MPa

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格帶逆流功能。

集裝板(可選項(xiàng))

設(shè)定壓力：0.1-0.7Mpa

2先導(dǎo)式減壓閥 AR

特點(diǎn)：內(nèi)部先導(dǎo)式溢流型。

設(shè)定壓力：0.02-0.83Mpa

3MR單元(帶油霧分離器的減壓閥) AMR

特長(zhǎng)：油霧分離器和減壓閥一體化。

過濾精度：0.3μm。

設(shè)定壓力：0.05～0.85 Mpa

4小型集裝型減壓閥 ARM5

特長(zhǎng)：可以根據(jù)配置條件自由選擇。手輪位置：上、正面、下

配管方向：上、下

快換接頭種類：直通接頭、彎頭接頭

可更換快換接頭種類、尺寸。

對(duì)應(yīng)逆流功能標(biāo)準(zhǔn)。

對(duì)應(yīng)數(shù)字式壓力開關(guān)。

設(shè)定壓力：0.05～0.7Mpa